기능성 가스 시스템 공급업체 | 오존 가스 발생기

시스템 개요

수율 중요 공정 가스를 위한 오존 생성 엔지니어링

인퀴빅스 테크놀로지스 오존 가스 발생기는 고유 방전 셀 기술을 사용하여 산소 공급원에서 고농도 오존 가스를 생산합니다. 이 시스템은 조정 가능한 산소 유량(5–40 slm)으로 최대 300 g O₃/Nm³의 오존 농도를 제공하여 고농도 저유량 반도체 산화부터 고유량 산업 살균까지 정밀한 공정 제어가 가능합니다.

01

공급 O₂

02

셀 고유 방전

03

출력 ≤ 300 g O₃/Nm³

고유 셀 아키텍처는 최대 오존 변환 효율을 제공하도록 설계되어, 기존 방전 설계와 비교하여 생산된 오존 그램당 산소 소비를 줄입니다.

방전 셀 · OG-시리즈

셀 기술 고유

O₂ 유량 5–40 slm

O₃ 출력 ≤ 300 g/Nm³

사양

시스템 레벨 출력 사양

다양한 농도 및 유량 요구사항에 대해 여러 구성이 가능합니다. 자세한 사양, 시스템 크기 조정 및 유틸리티 요구사항은 인퀴빅스 테크놀로지스에 문의하십시오.

데이터시트 OG-시리즈 · 오존 가스 발생기

Rev · 2026 · OG-300

01 오존 농도 최대 300 g O₃/Nm³ 셀 전력으로 조정 가능

02 산소 유량 5 – 40 slm 공정 조정 가능

03 셀 기술 고유 내부 셀 긴 작동 수명

04 인증 CE · UL EU + 북미

05 통신 SECS/GEM 호환 MES 통합 준비

구성

공정 가스 수요에 맞게 크기 조정

당사는 다양한 농도 및 유량 범위에 걸쳐 오존 가스 발생기를 공급합니다. 공정 매개변수를 보내주시면 셀 용량, 산소 공급 및 배기 처리를 팹 유틸리티에 맞게 조정해 드립니다.

목표 농도 (g/Nm³)
장비당 유량 수요 (slm)
유틸리티 범위 및 통합

상세 사양 요청

시스템 특징

방전 셀을 중심으로 설계

인퀴빅스 테크놀로지스 오존 가스 발생기를 정의하는 4가지 엔지니어링 선택, 핵심의 고유 셀부터 이중 인증 외관, 팹 공정 제어로의 SECS/GEM 브리지까지.

01

PROPRIETARY CELL

고유 셀 기술

인퀴빅스 테크놀로지스 오존 가스 발생기는 오존 생성 효율을 극대화하면서 산소 낭비를 최소화하는 고유 방전 셀을 사용합니다. 기존 유전체 배리어 방전 설계에 비해 오존 그램당 더 낮은 전력 소비로 높은 오존 농도를 생산합니다. 셀 구조는 장기간 생산 실행에서 일관된 출력 성능과 긴 작동 수명을 위해 설계되었습니다.

변환 고효율

셀 수명 장기 작동

02

ADJUSTABLE

조정 가능한 농도 및 유량 제어

가변 산소 유량(5–40 slm)과 조정 가능한 전력 설정의 결합으로 오존 농도와 총 오존 질량 유량을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 이 유연성을 통해 단일 오존 가스 발생기가 최대 오존 밀도가 필요한 고농도 반도체 산화에서 중간 농도의 살균 및 표면 처리 작업까지 여러 공정 응용 분야에 사용될 수 있습니다.

O₂ 유량 5 – 40 slm

출력 g/Nm³ 조정 가능

03

CE · UL