F-01
PEM 전기분해 수소 생성
수소 생성기는 양성자 교환막(PEM) 전기분해 셀을 사용하여 DI수에서 99.999% 순도의 수소를 현장 생산합니다. PEM 셀은 공정수를 폐기하지 않고 재사용하여 DI수 소비를 줄이면서 외부 오염원 없이 일관된 수소 순도를 유지합니다.
99.999% H₂ 현장 PEM 생성
시스템 개요
단일 통합 루프, 생성, 용존, 공급
인퀴빅스 테크놀로지스 수소수 생성기는 현장 PEM 수소 발생과 PFA 막 용존을 하나의 엔지니어링 플랫폼에 결합합니다.
공정 설명
인퀴빅스 테크놀로지스 수소수 생성기는 단일 통합 시스템에서 수소 가스를 생성하고 초순수에 용존시킵니다. 수소는 PEM(양성자 교환막) 전기분해 셀에서 생산되며, 외부 가스 공급 없이 DI수에서 99.999% 순도의 수소 가스를 생성합니다.
각 수소수 시스템은 기존 초순수 공급 인프라와 통합되어 압축 수소 가스 실린더와 외부 가스 공급 배관이 필요 없습니다. PLC 기반 제어 시스템과 HMI 터치 패널이 실시간 용존 수소 농도 모니터링을 제공합니다.
시스템은 클린룸 유틸리티 통로 및 청정 플랜트 실내 설치용으로 설계되었습니다.
5N PEM 셀 99.999% H2 순도
0 외부 수소 실린더 불필요
1 통합 PLC + HMI 제어 루프
Fig. 1 PEM 전기분해 및 PFA 중공사막 용존 경로
01
초순수 공급 PEM 전기분해 입력 18.2 MΩ·cm UPW, 외부 H₂ 실린더 불필요 02
PEM 전기분해 99.999% H₂ 현장 생산 PEM 셀이 DI수에서 5N 수소 생성 03
PFA 중공사막 접촉기 중공사막 용존 제어된 압력과 유량으로 UPW에 수소 용존 04
사용 지점 출력 1.0–2.0 ppm H₂ 안정 캐스케이드 제어 용존 수소를 습식 세정 장비로 공급 사양
시스템 레벨 출력 사양
설정 가능한 출력 플랫폼, 소형 습식 세정 장비 공급부터 대규모 팹 시스템까지. 상세 치수, 유틸리티 입력 및 구성 옵션은 엔지니어링 상담 시 제공됩니다.
사양서 IQ-H2W, 용존 수소수 생성기 Rev. 2026
- SP-01 용존 H₂ 농도 0.0 – 2.0 ppm (설정 가능)
- SP-02 UPW 유량 범위 10 – 100 LPM (여러 구성 가능)
- SP-03 H₂ 가스 순도 99.999% (5N)
- SP-04 수소 생성 방식 PEM 전기분해, 외부 가스 공급 불필요
- SP-05 용존 방식 PFA 중공사막 접촉기
- SP-06 제어 시스템 PLC + HMI 터치 패널, 폐쇄 루프 캐스케이드 제어
- SP-07 안전 시스템 H₂ 누출 감지, 누수 센서, 자동 차단 인터록
- SP-08 접액 재질 UPW 호환 (전해연마 SS, PTFE, PFA, PVDF)
- SP-09 인증 CE / UL
- SP-10 통신 SECS/GEM 호환
용존 수소수 시스템은 여러 구성으로 제공되어 특정 공정 처리량 및 시설 요구사항에 맞출 수 있습니다. 소형 및 대형 시스템 플랫폼이 제공됩니다. 인퀴빅스 테크놀로지스에 문의하여 상세 사양, 시스템 크기 조정 및 유틸리티 요구사항을 확인하세요.
시스템 특징
6가지 엔지니어링 원칙을 기반으로 구축
각 인퀴빅스 용존 수소수 생성기는 현장 PEM 수소 생성, PFA 막 용존, 폐쇄 루프 캐스케이드 제어 및 SECS/GEM 팹 통합에 이르는 엔지니어링 선택의 집합체입니다.
F-02
PFA 중공사막 접촉기
용존 모듈은 화학적 분해에 매우 강한 PFA(퍼플루오로알콕시) 중공사막 접촉기를 사용합니다. 수소 가스는 막 섬유 표면을 따라 주입되어 접촉기를 통과하는 DI수에 용존됩니다. PFA 구조는 접촉기 서비스 기간 동안 긴 작동 수명과 일관된 용존 효율을 보장합니다.
PFA 내화학성 용존
F-03
폐쇄 루프 캐스케이드 농도 제어
PLC 기반 제어 시스템이 용존 수소 농도의 폐쇄 루프 캐스케이드 제어를 제공합니다. 내장 DI수 유량 센서가 실시간 물 소비량을 측정하고, 수소 라인 유량 제어기가 주입 속도를 조정하여 다양한 공정 수요에서 목표 농도를 유지합니다. HMI 터치 패널은 실시간 농도, 유량, 압력 및 시스템 상태를 표시합니다.
폐쇄 루프 PLC 캐스케이드 + HMI
F-04
안전 인터록 및 누출 감지
모든 수소수 시스템에는 수소 가스 누출 감지 센서와 누수 센서가 자동 차단 인터록과 함께 포함됩니다. 누출 감지 시 시스템이 자동 비상 차단 시퀀스를 시작합니다, PEM 셀이 수소 생성을 완전히 중단하고 시스템이 안전한 대기 상태로 전환됩니다. 건식 접점 출력 신호가 시스템 상태와 알람 조건을 외부 모니터링 시스템에 전달합니다.
자동 차단 H₂ + 누수 인터록
F-05
SECS/GEM 팹 통합
모든 인퀴빅스 테크놀로지스 수소수 생성기는 SEMI 장비 통신 표준(SECS) 및 일반 장비 모델(GEM) 프로토콜을 지원합니다. 이를 통해 팹의 기존 MES(제조 실행 시스템)를 통한 자동화된 장비 상태 모니터링, 알람 관리, 공정 데이터 수집 및 원격 제어가 가능합니다. SECS/GEM 통합은 수동 모니터링의 필요성을 제거하고 대량 생산 반도체 환경의 자동 보고 요구사항을 지원합니다.
SECS/GEM MES 지원 프로토콜
F-06
UPW 호환 재질
모든 접액 부품은 초순수 호환 재질(전해연마 스테인리스강, PTFE, PFA, PVDF)로 제작됩니다. 시스템은 사용 지점에서 18.2 MΩ·cm 이상의 저항률과 5 ppb 미만의 TOC를 유지하여 팹의 UPW 공급 인프라 무결성을 보존합니다.
≥ 18.2 MΩ·cm 사용 지점 TOC < 5 ppb
반도체 응용 분야
용존 수소수가 공정에서 가치를 발휘하는 분야
프론트엔드 웨이퍼 세정부터 첨단 패키징 및 디스플레이 제조까지, 용존 수소수는 표면 상태, 입자 제거 및 금속 오염 제어가 수율에 직접 영향을 미치는 곳에 사용됩니다.
01 습식 세정
01
- 서브미크론 입자
- 금속 오염
- 메가소닉
웨이퍼 표면 세정 및 입자 제거
용존 수소수는 반도체 팹에서 웨이퍼 표면의 금속 오염을 줄이고 습식 세정 시 입자 제거 효율을 향상시킵니다. 수소 처리 DI수는 기존 DI수 린스보다 서브미크론 입자 제거에 효과적이며, 특히 200mm 및 300mm 웨이퍼 제조 라인의 메가소닉 보조 세정 공정에서 우수한 성능을 발휘합니다.
200mm + 300mm메가소닉 보조입자 제거
용존 H2 ppm 범위 0.0 – 2.0 ppm
02 표면 패시베이션
02
- 실리콘 패시베이션
- 자연 산화물 제어
- 대기 시간
표면 패시베이션
초순수에 용존된 수소는 반도체 습식 공정 라인의 공정 간 이동 및 대기 시간 관리 중 활성 실리콘 표면을 패시베이션합니다. 수소 종단 표면은 세정 단계 간 재오염과 자연 산화물 재성장을 방지하여 연속 습식 벤치 작업 전반에 걸쳐 공정 일관성과 수율 안정성을 향상시킵니다.
H-종단 Si대기 시간 관리수율 안정성
용존 H2 ppm 범위 0.0 – 2.0 ppm
03 확산 전 세정
03
- 열처리 전 세정
- 로트 간 일관성
- 산화 전
확산 전 및 산화 전 세정
수소수 린스 단계는 확산 전 및 산화 전 세정 시퀀스에 통합되며, 웨이퍼 표면 상태가 후속 열처리 결과에 직접적인 영향을 미칩니다. 제어된 용존 수소 농도는 생산 로트 전반에 걸쳐 일관되고 반복 가능한 표면 준비를 제공합니다.
확산 전산화 전반복 표면
용존 H2 ppm 범위 0.0 – 2.0 ppm
04 첨단 패키징
04
- HBM
- 칩렛
- TFT 유리 세정
첨단 패키징 및 디스플레이 제조
프론트엔드 웨이퍼 제조 외에도, 인퀴빅스 테크놀로지스 용존 수소수 시스템은 첨단 패키징 시설(HBM 및 칩렛 기반 패키징 라인 포함), 평판 디스플레이 유리 세정 및 박막 트랜지스터(TFT) 공정 환경에 서비스되며, 금속 오염 제어와 표면 준비 요구사항이 중요한 곳에 사용됩니다.
HBM 패키징칩렛 라인TFT / FPD
용존 H2 ppm 범위 0.0 – 2.0 ppm
통합
공정 통합 지원, 주문 전 엔지니어링
인퀴빅스 테크놀로지스는 모든 용존 수소수 시스템 배포에 대한 완전한 공정 통합 엔지니어링을 제공합니다, 출하되는 하드웨어가 이미 귀사의 제어 시스템, 습식 세정 장비 및 EHS 프레임워크에 맞게 구성됩니다.
인퀴빅스 테크놀로지스는 모든 용존 수소수 시스템 배포에 대한 완전한 공정 통합 엔지니어링을 제공합니다. 여기에는 P&ID 검토, 유틸리티 요구 사항 계획, 기존 습식 세정 장비 및 공정 제어 시스템 연결을 위한 제어 인터페이스 사양, 현장별 EHS 요구 사항을 준수하는 안전 인터록 설계가 포함됩니다.
각 수소수 생성기는 조달 전에 해당 시설의 특정 전기, 기계 및 공정 제어 인프라에 맞게 구성되어 통합 위험을 줄이고 시운전 시간을 최소화하며 첫날부터 사양에 맞게 작동합니다.
- A P&ID 검토
- B 유틸리티 계획
- C 제어 인터페이스 사양
- D 안전 인터록 설계
조달 전 구성 · 첫날부터 가동
시작하기
수소수 시스템 사양 문의
새로운 팹 건설을 위한 용존 수소수 시스템 사양, 기존 습식 공정 라인으로의 수소수 성능 리트로핏, 또는 장비 플랫폼에 맞는 수소수 생성기 평가 등 모든 요구사항에 대해 인퀴빅스 테크놀로지스 엔지니어링 팀이 귀하의 공정 요구사항을 검토하고 적합한 시스템을 구성해 드립니다.