01
독점 유통 및 기술 대표 운영
Inquivix Technologies는 한국 시장에 진입하는 글로벌 반도체 공정 장비·소재 공급사를 위해 독점 대리점 계약을 체결·관리합니다.
반도체 클린 공정 기술
반도체 정밀 공정을 위해
설계된
수소·오존 시스템 Inquivix Technologies는 반도체 팹, 장비 OEM, 공정 통합 업체를 대상으로 고순도 수소수 생성기, 수소 가스 생성기, 오존수 시스템, 오존 가스 생성기를 공급합니다. 대한민국 인천에 본사를 둔 Inquivix Technologies는 글로벌 반도체 기술 기업이 한국 반도체 생태계로 진입하기 위한 신뢰할 수 있는 게이트웨이 역할을 수행합니다.
99.999%
수소 순도 (5N 등급)
≤ 300 g/Nm³
오존 농도
20–100 LPM
초순수(UPW) 유량 범위
솔루션
첨단 반도체 제조를 위한 수소·오존 생성 시스템
모든 반도체 팹은 웨이퍼 수율과 디바이스 성능을 보호하기 위해 정밀한 오염 제어에 의존합니다. 공정 노드가 5nm 이하로 미세화되고 HBM, 칩렛 등 첨단 패키징 기술이 더욱 엄격한 오염 사양을 요구함에 따라, 습식 공정에서의 기능성 수(水) 및 가스 시스템의 역할은 더욱 중요해지고 있습니다. Inquivix Technologies는 현대 반도체 습식 공정의 순도, 안정성, 통합 요구사항에 맞춰 설계된 수소·오존 시스템을 공급합니다.
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수소 용존 습식 공정 시스템
PEM 전기분해 방식으로 현장에서 직접 생산한 5N 등급 수소를 PFA 중공사막을 통해 초순수에 용존시켜, 반도체 습식 세정 공정에 1.0–2.0 ppm의 안정적인 용존 수소를 공급합니다. 외부 수소 실린더 없이 UPW 공급망에 직접 통합되며, SECS/GEM 프로토콜을 통해 MES 자동 제어가 가능합니다.
1.0 – 2.0 ppm H₂20 – 100 LPMSECS/GEMPEM 전기분해
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수소 가스 생성기
저희 수소 가스 생성기는 PEM 전기분해 방식으로 반도체급 수소를 현장에서 직접 생산합니다. 99.999% 순도(5N 등급)의 고순도 수소를 어닐링, 환원 분위기, 소성로 공정, 포밍 가스 응용에 안정적으로 공급하며, 위험 가스 실린더 없이 운영 가능합니다.
99.999% H₂ 순도1 – 4 Nl/minCE / UL 인증자동 차단
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오존수 시스템
저희 오존수 시스템은 고농도 오존 가스를 초순수에 용존시켜 웨이퍼 세정 및 산화 공정에 사용되는 오존수를 공급합니다. SPM(황산 과산화수소 혼합물)을 대체하는 화학물질 무첨가 세정 솔루션으로, UV 분해 시스템을 통해 배기 전 잔류 오존을 안전하게 처리합니다.
10 – 100 ppm O₃ (DI Water)고유량UV 분해HMI 터치 패널
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오존 가스 생성기
저희 오존 가스 생성기는 기체 상태에서 최대 300 g O₃/Nm³의 고농도 오존을 생성하며, 웨이퍼 표면 산화, ALD/CVD 전구체 산화, 챔버 세정 등 반도체 건식 공정에 직접 공급됩니다. 자체 특허 셀 설계로 고효율 발생을 구현하며, CE/UL 인증을 획득한 안전 설계를 채택하고 있습니다.
≤ 300 g O₃/Nm³5 – 40 slm O₂특허 셀 설계CE / UL 인증
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한국 반도체 시장
한국 반도체 산업의 글로벌 게이트웨이
한국은 세계 반도체 제조의 중심지이자 첨단 메모리 및 로직 팹 캐파가 가장 집중된 국가입니다. 삼성전자, SK하이닉스를 비롯해 K-반도체 벨트를 따라 확장 중인 첨단 팹 네트워크를 보유한 한국 반도체 생태계는 반도체 장비와 공정 기술에 대한 가장 크고 기술적으로 까다로운 시장 중 하나를 형성하고 있습니다. DRAM, NAND, HBM(고대역폭 메모리), 로직 반도체, 첨단 패키징 기술 전반에 약 700조 원(약 4,750억 달러) 규모의 투자가 계획되어 있으며, 2030년 이후를 향해 차세대 칩 제조의 글로벌 중심으로서 한국의 입지를 더욱 강화하고 있습니다.
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> ₩700T
K-반도체 벨트 투자 계획 (약 4,750억 달러)
> 60%
한국이 차지하는 글로벌 메모리 반도체 시장 점유율
20+
한국 내 신축 중인 신규 팹·R&D 센터
100%
한·영 이중 언어 엔지니어링 및 비즈니스 지원
인퀴빅스를 선택하는 이유
단순 상사(商社)가 아닌, 반도체 기술 파트너
Inquivix Technologies는 반도체 클린 공정 기술 분야의 기술 파트너이자 시스템 통합 업체로서 사업을 수행합니다. 수소·오존 화학, 초순수 시스템, 습식 공정 통합에 대한 깊이 있는 도메인 지식과, 한국 반도체 제조 생태계 및 검증된 글로벌 기술 공급사 네트워크에 대한 직접적인 접근성을 결합합니다.
01
반도체 특화 전문성
Inquivix Technologies는 반도체 제조를 위한 클린 공정 기술에 특화되어 있습니다: 용존 수소 시스템, 수소 가스 생성기, 오존수 시스템, 오존 가스 생성기, 초순수(UPW) 습식 공정 통합, 오염 제어 기술을 전문적으로 다룹니다.
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한국 반도체 생태계 접근성
대한민국 인천에 본사를 둔 Inquivix Technologies는 K-반도체 벨트 전반에 걸쳐 주요 한국 반도체 제조사, 장비 통합 업체, 공정 엔지니어링 팀과 직접적인 관계를 유지하고 있습니다.
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03
전 주기 기술 지원 및 이중 언어 엔지니어링
초기 기술 검토부터 시스템 사양 구성, 제안서 개발, 설치 조율, 시운전 및 사후 유지보수에 이르기까지 전 과정을 직접 지원합니다. 한국어와 영어 이중 언어 엔지니어링을 통해 글로벌 공급사와 국내 반도체 팹 간의 원활한 협업과 규격 검증을 보장합니다.
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반도체 웨이퍼 세정
표면 산화 및 패시베이션
포토레지스트 박리 및 유기물 제거
환원 분위기 및 어닐링
디스플레이 및 태양광 제조
첨단 패키징 및 칩렛 공정 세정
기술 표준
글로벌 반도체 표준에 부합하는 설계
Inquivix Technologies의 모든 수소·오존 시스템은 반도체 산업의 가장 엄격한 품질·안전 표준을 충족하도록 설계, 제조, 시험됩니다.
SECS/GEM 장비 통신
반도체 제조 실행 시스템(MES) 및 팹 자동화 네트워크와의 완벽한 연동을 위한 SEMI E30·E37 표준 준수 통신 프로토콜을 지원합니다.
CE 및 UL 글로벌 인증
전기 시스템, 압력 용기, 고순도 가스 생성 장비에 대해 유럽(CE) 및 북미(UL)의 엄격한 제품 안전 및 규제 요건을 충족합니다.
초순수(UPW) 호환 재질 설계
전해연마 스테인리스강, PTFE, PFA, PVDF 등 초순수 전용 무오염 재질을 사용하여 사용 시점(POU)에서 18.2 MΩ·cm 이상의 비저항과 5 ppb 이하의 극미량 TOC를 유지합니다.
공정 통합 엔지니어링
P&ID 기술 검토, 유틸리티 요구 사양 계획, 제어 인터페이스 구성, 안전 인터록 설계를 통해 도입 전 팹 환경에 최적화된 맞춤형 엔지니어링을 제공합니다.
협업 방식
문의에서 통합까지
웨이퍼 세정용 수소수 생성기 도입을 검토 중인 반도체 팹이든, 장비 통합을 위한 오존 가스 생성기를 찾는 OEM이든, 한국 반도체 시장 진출을 모색하는 글로벌 기술 기업이든, 저희의 협업 프로세스는 기술적 엄정성과 상업적 명료성을 기준으로 구성되어 있습니다.
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기술 컨설팅
먼저 고객의 공정 요구사항부터 검토합니다: 유량, 용존 수소·오존 농도, 통합 제약 조건, 전기 사양, 안전 요구사항, 컴플라이언스 요건 등을 확인합니다.
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시스템 사양 설계
엔지니어링 팀이 수소·오존 시스템을 고객의 정확한 공정 환경에 맞춰 구성합니다. P&ID 검토, 유틸리티 요구사항, 제어 인터페이스 사양, 안전 인터록 설계가 포함됩니다.
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제안서 및 인증 지원
Inquivix Technologies는 시스템 사양 명세서, 응용 분야별 기능 문서, 기술 지원 자료를 포함한 상세 제안서를 제공하여 고객사의 내부 구매·인증 프로세스를 지원합니다.
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납품 및 지속 지원
제조 조율과 국제 물류부터 현장 설치 지원, 시스템 시운전, 예방 정비까지, Inquivix Technologies가 전체 납품 라이프사이클을 관리합니다.
문의
공정 요구사항에 대해 논의할 준비가 되셨습니까?
한·영 이중 언어 기술 문서, 한국 인증 대응부터 현장 시스템 설치 및 팹 단위 성능 검증까지, Inquivix Technologies가 전체 현지화·인증 프로세스를 일괄 관리합니다. 저희 이중 언어 엔지니어링 팀은 모든 수소 생성기, 오존 시스템, 공정 장비가 클린룸에 반입되기 전 한국 컴플라이언스 표준과 팹별 성능 요구사항을 충족하도록 보장합니다. 수입 물류, 인증 조율, 기술 시연 지원을 저희가 담당하여 고객사는 기술 그 자체에 집중할 수 있습니다.