수소 및 오존 시스템
당사는 선단 반도체 습식 공정의 순도, 안정성 및 통합 요구 사항을 충족하는 용존 수소수 발생기, 수소 가스 발생기, 오존수 시스템 및 오존 가스 발생기를 공급합니다. 모든 시스템은 SECS/GEM 통신 프로토콜, UPW 호환 재료 및 반도체 팹 배포에 필요한 안전 인증(CE, UL)을 지원합니다.
당사의 시스템은 200mm 및 300mm 제조 라인에서 웨이퍼 세정, 표면 패시베이션, 포토레지스트 박리, 제어된 산화, 캐리어 가스 공급 및 환원 분위기 응용 분야에 사용됩니다.
- SECS/GEM
- UPW 호환
- CE / UL
- 200mm & 300mm


