암모니아 수소수 공급 시스템
암모니아 수소수로 산업 공정의 순도를 한 단계 끌어올리다
산업용 순도 향상의 새로운 기준을 제시하는 인퀴빅스 테크놀로지스의 대표 암모니아 수소수 공급 시스템을 소개합니다. 이 시스템은 정밀한 농도 제어가 최적의 성능을 좌우하는 반도체 부품 제조 공정에서 핵심적인 역할을 수행합니다. 저희의 정교하게 설계된 솔루션은 다양한 웨이퍼 세정 공정의 근간이 되어, 표면의 유기 잔류물, 금속 이온 및 기타 오염물을 효과적으로 제거합니다.
인퀴빅스 테크놀로지스는 제조업체가 pH 값, 농도, 유량을 완벽하게 제어할 수 있도록 지원하여 기존 공정에 원활하게 통합될 수 있게 합니다. 저희 시스템을 도입하면 화학물질 구매 및 취급 비용을 크게 절감하는 동시에, 필요할 때마다 안정적으로 세정 용액을 공급받을 수 있습니다. 인퀴빅스의 최첨단 암모니아 수소수 공급 시스템으로 효율성과 신뢰성의 정점을 경험해 보십시오.
제품 개요
혁신적인 암모니아 수소수 공급 시스템은 업계 전반의 표면 순도 유지에 있어 판도를 바꾸는 솔루션입니다. 정밀하게 설계되어 유기물, 금속, 입자성 오염물을 효과적으로 제거함으로써 표면을 완벽하게 유지합니다. 우수한 농도 제어를 통해 높은 제거율을 자랑하며, 수율을 최적화하는 동시에 낭비를 최소화합니다. 또한 H2O로의 원활한 전환을 통해 환경 영향을 완화하여 지속가능성 목표에도 손쉽게 부합합니다.
0.0~2.0ppm의 농도 범위와 스윕 모드의 내구성 높은 PFA 중공사 접촉기를 갖추어 내구성이 보장됩니다. PLC 제어 및 직관적인 HMI 인터페이스를 통해 손쉽게 관리 및 모니터링할 수 있습니다. 수소 감지 센서와 누수 감지 센서 등 안전을 고려한 기능이 내장되어 있어 안전한 작업 환경을 보장합니다. 효율성, 신뢰성, 그리고 환경적 책임이 완벽하게 조화된 인퀴빅스의 암모니아 수소수 공급 시스템으로 정화 기술의 미래를 경험하십시오.
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| 항목 | 값 |
|---|---|
| 폭 | 1,000 mm |
| 길이 | 1,200 mm |
| 높이 | 1,900 mm |
| 무게 | 450 kg |
상세 제품 설명
효율성을 핵심 가치로 설계된 저희 시스템은 컴팩트하면서도 강력한 솔루션을 제공하여 타사 제품 대비 설치 공간을 최소화합니다. 자체 설계 기술을 바탕으로 유량 대비 놀라운 농도 수준을 달성하여 경쟁 제품과 차별화됩니다. 업계 표준 대비 설치 공간 요구사항을 크게 줄여, 저희 시스템은 공간 절약형 혁신의 새로운 시대를 열어갑니다.
특징 및 성능
고농도 지원
인퀴빅스 테크놀로지스의 최첨단 암모니아 수소수 공급 시스템은 최대 4ppm의 고농도 용액을 제공하여 반도체 산업 응용 분야에 이상적입니다. 고효율 접촉기를 활용하여 금속 및 기타 오염물을 효율적으로 제거하며, 탁월한 순도의 결과물을 보장합니다.
다양한 유량 옵션
특정 생산 요구사항에 맞춰 유량을 조정할 수 있는 시스템으로 제조 공정을 완벽하게 제어하십시오. 10, 50, 70, 90, 100 slpm(분당 표준 리터) 등 표준 유량 중에서 선택할 수 있습니다. 퍼플루오로알콕시알칸(PFA)으로 제작된 고순도 공압식 밸브를 탑재하여, 경쟁 시스템 대비 더 높은 유량 용량을 손쉽게 처리합니다.
정밀한 pH 제어
인퀴빅스 테크놀로지스의 암모니아 수소수 공급 시스템은 출력 pH 값을 정밀하게 제어할 수 있도록 지원하여, 사용자가 필요로 하는 정확한 용액을 얻을 수 있게 합니다.
직관적인 HMI 인터페이스
LCD 터치스크린을 탑재한 최신 HMI(Human-Machine Interface)로 암모니아 수소수 공급 시스템을 손쉽게 조작할 수 있습니다. 사용자 편의성을 고려하여 설계된 이 인터페이스는 배우기 쉬울 뿐만 아니라 직관적으로 사용할 수 있습니다. 사용하기 쉬운 HMI를 통해 시스템 작동을 원활하게 모니터링하고 필요에 따라 조정하십시오.
기술 사양
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산업 응용 분야
유기 잔류물 제거
저희 시스템은 초순수(DI) 물에 NH4OH와 수소를 정교하게 용해시켜, 유기 오염물 분해에 뛰어난 활성을 지닌 암모니아 수소수를 생성합니다. 유기 잔류물 제거에 있어 탁월한 효능 덕분에 표면이 완벽하게 깨끗해집니다. 오염물 제거 효율은 사용되는 가스 농도와 밀접한 관련이 있습니다.
금속 제거
저희 NH4OH 수소수 시스템은 다른 화학물질과 원활하게 결합하여 표면의 금속 잔류물을 손쉽게 처리합니다. 스프레이 또는 침지 방식을 통해 특정 화학물질을 암모니아 수소수와 결합함으로써 금속 잔류물을 효율적으로 제거합니다. 이 방식은 안전성을 확보할 뿐만 아니라 기존 방식 대비 화학물질 소비량도 최소화합니다.
포토레지스트 제거
반도체 산업, 특히 웨이퍼 습식 세정 공정에서 암모니아 수소수는 핵심적인 역할을 수행합니다. 원치 않는 부산물을 남기지 않으면서 웨이퍼 표면의 포토레지스트를 효과적으로 제거하여 완벽한 결과를 보장합니다. 저희 시스템은 가스 농도를 정밀하게 제어할 수 있어, 특정 포토레지스트 제거율 요구사항에 맞춰 조정이 가능합니다.
고객 후기
“인퀴빅스 테크놀로지스의 암모니아 수소수 공급 시스템을 경험한 결과는 그야말로 탁월했습니다. 이 시스템은 저희의 표면 순도 유지 공정을 완전히 혁신하여 일관되게 완벽한 결과를 제공하고 있습니다. 컴팩트한 디자인과 사용자 친화적인 인터페이스 덕분에 다루기 쉽습니다. 내장된 농도 제어 기능은 저희의 요구에 맞춘 정밀한 성능을 보장합니다. 또한 인퀴빅스 팀은 초기 상담부터 시스템 도입까지 전 과정에서 놀라운 지원을 해주었습니다. 이 시스템에 대한 투자는 저희에게 분명한 게임 체인저였습니다.”
“암모니아 수소수 공급 시스템은 저희 제조 시설에 있어 현명한 결정이었음이 입증되었습니다. 생산 공정을 간소화하고 전체 비용을 크게 절감했습니다. 또한 친환경적인 설계는 저희의 지속가능성 목표와 완벽하게 부합하여 긍정적인 환경적 영향에 기여하고 있습니다.”
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자주 묻는 질문
암모니아 수소수의 용도는 무엇인가요?
암모니아 수소수 용액은 다양한 세정 공정을 위해 반도체 산업에서 활용됩니다. 이 용액을 사용하면 반도체 웨이퍼 표면의 유기 잔류물, 금속 이온 및 기타 여러 유형의 오염물을 제거할 수 있습니다.
웨이퍼 표면 처리에 있어 DIO3 워터의 응용 분야는 무엇인가요?
암모니아 수소수 공급 시스템을 사업장에 설치하면, 더 이상 반도체 웨이퍼 세정에 필요한 위험한 화학물질을 다룰 필요가 없습니다. 안전 위험을 줄이는 것 외에도, 이러한 화학물질과 관련된 특수 취급 비용도 절감할 수 있습니다.